这里晶圆的化学腐蚀也叫减薄腐蚀。晶圆经过多线切割、研磨等机械加工后，由于表面机械加工残留的固有应力及机械损伤层，通常会采用化学腐蚀的方式去除或者说剥离这些表面损伤层。尤其是正表面，损伤去除不好还会大大增加后续工序的难度，影响后续工序的质量。目前大直径衬底晶圆多采用酸腐蚀的工艺，主要使用硝酸、氢氟酸和冰醋酸或磷酸按照一定比例的混合酸在自动化腐蚀设备中完成，其目的是为了去除表面残留的前工序损伤留下的微缺陷及损伤层，改善表面质量和提高表面平整度。