近日，日中半导体协会约访了株式会社MTK（以下简称“MTK”）的社长松井淳先生，就MTK的事业内容及中国市场的业务扩展等方面进行了专访。以下是采访的详细内容。
――请介绍一下贵司的企业理念和事业内容。
松井 “致力于不断提升设备性能，并以优惠的价格向客户提供半导体制造设备”是MTK一贯秉承的企业理念。相信在不久的将来，发展中国家的人们也将能够越来越多地使用LSI（半导体），实现一个更为便利更为幸福的世界。对MTK来说，我们也将以半导体湿法处理设备为基础，作为一个“可以提供性能高端且价格优惠的半导体设备”的企业，肩负起责任，勇往直前。
――请介绍一下贵司在中国市场的业务发展历史。
松井 从15年前公司成立之初开始，MTK就坚决定位以中国和日本两国为主要市场。回顾半导体市场在美国、日本、韩国、台湾、中国等国家的兴起历史，如今中国的半导体市场日益庞大已是大势所趋。
在公司成立初期，由于遇上了经济危机，致使我们未能开展高成本的设备业务，暂先经营了约5年的半导体材料-单晶SiC晶圆的进口和销售业务。第六年开始我们得到了银行的融资，正式拓展了半导体设备的相关业务，并制造出了第一台清洗设备样机，至今仍在MTK厂内使用。
关于中国市场方面的销售活动，迄今为止是通过日本公司的中国当地法人进行的。起初，由于MTK知名度较低，也没有既往实绩，缺乏相应销售能力，迟迟未能获得订单。但是后来，我们通过之前SiC晶圆业务积攒的人脉关系，得以将第一台SiC晶圆清洗设备导入到晶圆生产厂家。目前，我们不光在SiC晶圆清洗设备方面稳步发展，也在大口径硅片用的蚀刻设备方面取得了实绩。
――贵司是通过哪些方式和渠道进入中国市场的？
松井 通常我们是通过在中国当地的2家法人公司及各个代理商社与客户达成合作的，我们期待这几家公司能够相互竞争相辅相成，通过多种营销推广来增加合作机会。当然，如果有的顾客希望直接与MTK进行沟通合作，我们也是会全力对应的。
――在中美贸易摩擦和新冠病毒流行的大环境下，您对中国市场的措施、展望和期待如何？
松井 半导体是由众多的供应商提供材料和加工设备而制成的。因此，如果半导体市场少了中国，那么美国将遭受损失会是最大的。我们认为目前半导体市场中虽有一小部分会发生战略冲突与政治流言，但对整个全球半导体市场不会有太大影响。不过，以此为契机，中国的半导体器件，制造设备和材料的国产化步伐将进一步加快。因此，我认为MTK必须要与中国企业合作，共同推动中国自主品牌设备的开发及制造，在此期间核心部分可以由日本来供应。
――请介绍一下贵司向中国市场销售的主要产品。
松井 目前我们主要经销的是清洗设备，尤其是SiC和GaN晶圆清洗的追加订单日渐增多。并且，由于咨询LT晶圆以及光通信相关清洗设备的客户也在不断增加，后续我们也将重点致力于化合物清洗与蚀刻设备的研发和销售。
另一方面，我们还在销售面向数倍于化合物市场规模的大硅片清洗设备，不久的将来我们会在硅晶圆清洗领域推出新的设备。因为包括我本人在内的许多同事都是前SEZ公司的员工，所以我们将推出加以改进的硅蚀刻设备。
此外，我们还会推出使用高温SPM去光刻胶的剥离设备，可保障其中仅含极少的颗粒物。
以下是MTK根据不同用途，可以对应的设备。
1）对象基板（晶圆）
材料：Si、SiC、GaN、GaAs、InP、LT、LN。
尺寸：φ2英寸～φ12英寸
2）对象领域和MTK设备类型
① 半导体前工艺
· 精密清洗设备（单片旋转式）
· 湿式处理设备（单片旋转式）
a） 硅蚀刻（减薄，研磨后应力缓和）
伯努利式晶圆卡盘和无针晶圆卡盘等。
b） 聚合物去除
去除Dry Etching残留物。
c） 高温SPM清洗
通过130℃SPM剥离光刻胶。
d） 去除晶圆端面和倒角部分的膜（防止膜剥离）
使用伯努利式Chuck。
② 半导体后工艺
· 精密清洗设备（单片旋转式）
a） 切割后的精密清洗
b） 晶圆、芯片粘接前精密清洗
③ 晶圆制造用精密清洗
· 精密清洗设备（单片旋转式）
a） CMP后的最终精密清洗
b） 外延膜形成前后的精密清洗
c） 晶片键合前的精密清洗
――关于“一般社团法人 日中半导体协会”，请谈谈您的看法和期待。
松井 我们一贯忠实于半导体的历史，并见证了当前中国半导体产业的发展。相信在未来，半导体制造会从中国向印度、向中南半岛转移。我们衷心期望，一般社团法人 日中半导体协会能够继续以日中为核心，为世界半导体产业发展贡献更多的力量。
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