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2024.02.16
凸版光掩膜与美国 IBM 公司签署联合研发协议,将用于 2 纳米制程技术的 EUV 光掩膜商业化。
TOPPAN Holdings Group 旗下公司 TOPPAN Photomask(东京都港区)宣布与美国 IBM 公司签署了一项联合研发协议,共同研发使用 EUV 光刻技术的 2 纳米逻辑半导体工艺节点光掩膜,包括用于下一代半导体的高纳 EUV。该公司宣布与美国 IBM 公司签署了一项联合研发协议。