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2025.04.04
国产离子注入机产业化领跑者,凯世通展示国产半导体装备硬实力
本届SEMICON China 展会现场,凯世通带来了全系列集成电路离子注入机产品矩阵。凯世通领跑国产集成电路离子注入机产业化,通过长期的技术攻关与量产应用,凯世通离子注入机在离子源、光路系统、晶圆传送、颗粒污染物控制、软件自动化等关键技术方面进行了持续升级迭代,关键性能指标持续改进,获得了晶圆厂客户的广泛认可。公司研发量产的低能大束流离子注入机、高能离子注入机等系列产品,填补了国内空白,在设备装机量、性能和稳定性等方面处于国产化前列,实现了逻辑、存储、功率、CIS图像传感器等各类芯片工艺的全覆盖。