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2025.05.29
采用独特方法快速生长β型氧化镓
2025年5月,由东京农工大学、大阳日酸、奈良女子大学、工学院大学、大阪府立大学/国家信息通信技术研究所(NICT)以及太阳日酸ATI组成的研究小组宣布,他们已开发出一种快速生长β型氧化镓(β-Ga2O3)晶体的技术。这种晶体作为下一代功率半导体材料备受关注。这些β-Ga2O3晶体采用独特的减压热壁金属有机气相外延(MOVPE)方法生长,并可高精度控制n型载流子密度。在执行功率转换的功率半导体领域,采用高介质击穿场强和低功耗材料的器件研究正在取得进展。本次我们重点介绍的β-Ga2O3晶体,其带隙约为4.5eV,击穿场强为8MV/cm,与日益实用化的SiC(碳化硅)晶体和GaN(氮化镓)晶体相比,具有更优异的特性。