最新情報
〒 542-0081
大阪府大阪市中央区南船場2-5-12 301
TEL：06-6262-1118
FAX：06-6262-6669
EMAIL：info@jcsemi.org
2023.12.15
DNPが３nm相当リソグラフィ向けフォトマスク製造プロセス開発 回路線幅の微細化に対応
大日本印刷（DNP）は12日、半導体製造の最先端プロセスのEUV（極端紫外線）リソグラフィーに対応した、3ナノメートル相当のフォトマスク製造プロセスを開発したと発表した。スマートフォンやデータセンターなどで使われるロジック半導体の高性能化に伴う、回路線幅の微細化ニーズに対応した。