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2023.12.29
ノベルクリスタルなどが垂直ブリッジマン法で単結晶作製β型酸化ガリウムを6インチ化
タムラ製作所からのカーブアウトベンチャーでβ型酸化ガリウム(β-Ga₂O₃)の半導体開発に取り組んでいるノベルクリスタルテクノロジー(NCT)、産業技術総合研究所、信州大学は25日、垂直ブリッジマン(VB)法による6インチの単結晶の作製に世界で初めて成功したと発表した。基板の大口径化・高品質化の実現に向けた大きな前進が期待できる。