7月14日、華海清科股份有限公司の完全子会社である芯嵛半導体（上海）有限公司が独自開発した初の12インチ低温イオン注入装置iPUMA-LTが発売開始となり、国内ロジックチップ製造分野の主要企業に納入された。これは、華海清科が先端プロセスチップ製造向け大口径イオン注入装置の各種モデルをフルカバーすることに成功した重要な瞬間である。イオン注入装置は集積回路製造の前工程における重要な装置であり、技術的障壁が高いことが知られている。中国国内の集積回路製造企業は主に輸入装置に依存しており、国産化の余地は非常に大きい。そのため、華海清科はハイエンドのイオン注入装置の開発に注力してきた。今回顧客に納入した低温イオン注入装置は、最新世代の大ビームイオン注入装置iPUMA-LEの先進的な設計を継承するだけでなく、ビーム電流の増加、均一性の向上、角度制御の高精度化を実現している。同時に、耐低温静電搬送技術と自主開発した国産温度制御システムをフル装備し、プロセス温度の精密な閉ループ制御を実現し、その性能は国際的な主流プロセスレベルに達している。