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2025.04.04
国産イオン注入装置の産業化をリードする凱世通が国産半導体装置の強さを実証
今年の SEMICON China 展示会で、凯世通はイオン注入装置の製品マトリックスを展示した。凱世通は国内の集積回路イオン注入装置の産業化をリードしている。長期にわたる技術研究と大量生産アプリケーションを通じて、凯世通のイオン注入装置は、イオン源、光学システム、ウェーハ伝送、粒子汚染制御、ソフトウェア自動化などの主要技術において継続的なアップグレードと反復を経てきた。主要業績評価指標は継続的に改善され、ウェーハ製造の顧客から広く認知されている。同社は、低エネルギー、大ビームイオン注入装置、高エネルギーイオン注入装置など一連の製品の研究開発と量産により、国内の該当分野の空白を埋めてきた。同社は設備導入量、性能、安定性の面で国内トップクラスであり、ロジック、ストレージ、電源、CISイメージセンサーなど、さまざまなチッププロセスのフルカバーを実現している。