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2025.04.25
マイクロンが日台でDRAM製造にEUV、3D化後の露光技術は先祖返り
半導体メモリー大手の米Micron Technology(マイクロン・テクノロジー)はデータの一時記憶に使うDRAMの1γ(ガンマ、10nm台の6番目)世代品のサンプル出荷を始めた。同社として初めて、EUV(極端紫外線)露光技術を量産に使う。2025年中に台湾の工場で量産を始め、2026年からは広島工場(広島県東広島市)でも量産する。