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2025.05.23
デンソーがSiCウエハーの生産効率を15倍に、新開発のゲート駆動ICで効率1割増し
デンソーは、「人とくるまのテクノロジー展 2025 YOKOHAMA」(2025年5月21~23日、パシフィコ横浜)において、8インチSiC(シリコンカーバイド)ウエハーの新たな工法と、SiCデバイスで構成するインバーターの効率を向上できる新開発のゲート駆動ICを紹介した。SiCウエハーの一般的な工法としては昇華法が知られているが、種結晶からの成長速度が遅いため生産効率に課題がある。デンソーが開発中の新たな工法は、高温ガスを用いることでより高速に結晶を成長させられる。新工法の結晶成長にかかる時間は、昇華法の15分の1と極めて短い。

