日本酸素控股集团（Nippon Oxygen Holdings Group）旗下的大阳日酸公司（Taiyo Nippon Sanso）开发了一种高纯度肼气供应系统，该系统适用于 RASIRC 的 BRUTE Hydrazine。

肼气比氨气（一种常见的氮化源）更具活性，因此可以在半导体制造工艺中实现更低的温度、更好的薄膜质量和更高的产量，从而实现先进逻辑半导体的微型化和更大的内存容量。